低溫等離子技術是在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或無害分子。

光氧催化廢氣處理設備主要利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣。